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氮化硅粉末的制造方法及设备一种氮化硅粉末的制造方法的设备,本发明的方法是用SiCl-[]和液氨在有机溶剂界面上。热分解结晶化回转炉等设备实现连续加料,连续出料达到连续生产Si-[]N-[]粉末的目的。
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一种制造高纯度超细氮化硅的方法及设备一种制造高纯度超细氮化硅的方法及设备,其特征是硅烷和氨气的气相化学反应是在立式。收率高,氮化硅颗粒细而均匀,表面光滑,内部结构无气孔,无团聚现象,适宜工业化生产。。
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氮化硅的生产工艺及设备-破碎机报价氮化硅的生产工艺及设备对于不同射频条件下薄膜的测试结果表明:低频时氮化硅薄膜处于压应力,高频时处于张应力,且相同功率时低频射频功率对薄膜应力的影响表中的测量数。
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氮化硅生产设备氮化硅生产设备以硅粉或硅铁粉为原料,加入稀释剂氮化硅或氮化硅铁细粉制成配合料,在立式燃烧合成反应炉中,控制加入配合料的料量,控制氮气压力为,并在之间进行连续或间。
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